桌面式自动光学检测设备

利用光学方式取得芯片成品的表面状态，以影像处理来检出异物或图案异常等瑕疵。采用高精度运动控制、高精密光学成像、智能缺陷检测等技术，实现了不同尺寸芯片的高精度成像，能够准确识别出破损、崩边、异物、划伤、裂纹等多种缺陷，实现不同型号的裸芯片检测。